光氧催化废气处理设备具有特殊的高能量光束，恶臭，裂解恶臭气体，如：氨、三甲胺、硫化氢、硫化氢、甲基硫醇、硫醚、二甲基二硫醚、苯、二硫化碳和硫H2S、VOC、苯、甲苯、二甲苯的分子链结构、有机或无机聚合物有气味的化合物的分子链，高能量光束的太阳紫外线照射下，降解为低分子化合物，如CO2、H2O、等。
有机化工生产废气中的有机污染物或恶臭物质，可用光氧催化废气处理设备直接燃烧法或催化燃烧法治理。要求燃烧必须完全，否则焚烧过程中形成的中间产物可能比原来的污染物危险更大。要使燃烧完全，必须很好掌握燃烧时间、温度和湍动这三个重要参数。直接燃烧可采用火炬或焚烧炉，火炬燃烧法用于处理含有足够可燃物的废气，废气的热值需在1925kJ/m3以上,火炬为常压燃烧器，燃烧效率较低。如使用与锅炉或工业炉类似的强制送风燃烧炉，燃烧效果比火炬好。直接燃烧通常在1000C左右进行，完全燃烧产物为C02、N2和水蒸气等。
